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用于EUV和DUV光刻的组件
晶圆扫描
沉积系统
高真空泵和阀门
高功率激光器组件(高功率超短波长)
大功率测量和分析系统的组件.g. 气相色谱仪，电子扫描显微镜，质谱仪

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